SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

簡要描述：SUNX晶圓定位傳感器系列一覽
反應(yīng)時間0.5ms以下（8V/ms以上）
分辨率30μm（注2）
直線性±1.0%F.S.（檢測位置的檢測寬度28mm）（注3）
溫度特性±0.1%F.S./℃（24±2℃）（注3）

產(chǎn)品詳情

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高，因此可實(shí)現(xiàn)高精度檢測。

無需光軸調(diào)整

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。并且，檢測距離及檢測寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

配備系數(shù)和偏移量調(diào)整功能

模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時*的保護(hù)罩，在美國使用時不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

使用ONE SHOT連接器將檢測頭與控制器連接。配線工時降低限度，維護(hù)輕松。

低消耗電流70mA以下

檢測頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的低功耗。

適用控制器 HD-T1C

檢測寬度 30mm(直線性按照28mm的寬度規(guī)定)

檢測距離 30mm(固定)(注2)

效果圖：

環(huán) 境性能	保護(hù)構(gòu)造	IP40(IEC)
	使用環(huán)境溫度	0～+40℃(注意不可結(jié)露)，存儲時：-20～+55℃
	使用環(huán)境濕度	35～85%RH、存儲時：35～85%RH
	使用環(huán)境照明度	白熾燈：受光面照明度3,000lx以下、熒光燈：受光面照明度3,000lx以下
	耐電壓	AC1,000V 1分鐘　所有電源連接端子與外殼之間
	緣電阻	所有電源連接端子與外殼之間，20MΩ以上，基于DC250V的高阻表
	耐振動	頻率10～150Hz　雙振幅0.75mm　X,Y和Z方向各2小時
	耐沖擊	加速度490m/s²(約50G)　X,Y和Z方向各3次

SUNX晶圓定位傳感器系列一覽

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