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簡要描述:海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mmLS 187 增量式直線光柵尺,測量步距為0.5 µm具有確定溫度特性能承受高振動頻率支持水平安裝單場掃描07.08.2009應(yīng)用 numerically controlled machine tools機械結(jié)構(gòu) 全尺寸Measuring procedures 增量式
海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm
技術(shù)參數(shù)
測量標(biāo)準(zhǔn) DIADUR刻線的玻璃光柵尺
熱膨脹系數(shù) αtherm ≈ 8 x 10-6 K-1
精度等級 ± 5 µm
測量長度(ML),mm 1440
參考點 每50 mm可用磁條選擇,標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置:中心處1個參考點
增量信號 1 VSS
柵距 20 µm
信號周期 4 µm
截止頻率 -3dB ≥ 160 kHz
測量步距 0,5 µm
高運動速度 120 m/min
電源 5 V ± 5 %/< 120 mA (without load)
電氣連接 獨立適配電纜,可連接安裝塊
大電纜長度 100 m
要求的移動力 ≤ 4 N
振動 55至2000 Hz ≤ 200 m/s2 (IEC 60068-2-6)
沖擊(11 ms) ≤ 400 m/s2 (IEC 60068-2-27)
加速度 ≤ 60 m/s2 測量方向上
工作溫度 0至 50 °C
防護等級 IEC 60529
IP 53如果符合安裝說明要求
IP 64 如果通過DA 300提供壓縮空氣
重量 0.4 kg + 2.3 kg/m測量長度
型號
heidenhain 358699-28 RON 285 9000 03S12-03 K 編碼器
heidenhain ID:376886-A6 編碼器
heidenhain 572249-16 光柵尺
heidenhain ROQ 425 512 631703-07 編碼器
放大作用
在兩光柵柵線夾角較小的情況下,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,θ的單位為rad,W的單位為mm。由于傾角很小,sinθ很小,則
W=ω /θ
若ω =0.01mm,θ=0.01rad,則上式可得W=1,即光柵放大了100倍。
(3)均化誤差作用
莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,例如每毫米100線的光柵,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,消除了由于柵距不均勻、斷裂等造成的誤差。
檢測與數(shù)據(jù)處理
電子細分與判向法
光柵測量位移的實質(zhì)是以光柵柵距為一把標(biāo)準(zhǔn)尺子對位稱量進行測量。高分辨率的光柵尺一般造價較貴,且制造困難。為了提高系統(tǒng)分辨率,需要對莫爾條紋進行細分,光柵尺傳感器系統(tǒng)多采用電子細分方法。當(dāng)兩塊光柵以微小傾角重疊時,在與光柵刻線大致垂直的方向上就會產(chǎn)生莫爾條紋,隨著光柵的移動,莫爾條紋也隨之上下移動。這樣就把對光柵柵距的測量轉(zhuǎn)換為對莫爾條紋個數(shù)的測量。
海德漢HEIDENHAIN光柵尺LS-187C長1840mm